當濕飽和蒸汽中的水全部汽化即成為干飽和蒸汽，此時蒸汽溫度仍為沸點溫度。如果對于飽和蒸汽繼續(xù)加熱，使蒸汽溫度升高并超過沸點溫度，此時得到的蒸汽稱為過熱蒸汽。
      
過熱蒸汽和飽和蒸汽的區(qū)別：

       當液體在有限的密閉空間中蒸發(fā)時，液體分子通過液面進入上面空間，成為蒸汽分子。由于蒸汽分子處于紊亂的熱運動之中，它們相互碰撞，并和容器壁以及液面發(fā)生碰撞，在和液面碰撞時，有的分子則被液體分子所吸引，而重新返回液體中成為液體分子。開始蒸發(fā)時，進入空間的分子數目多于返回液體中分子的數目，隨著蒸發(fā)的繼續(xù)進行，空間蒸汽分子的密度不斷增大，因而返回液體中的分子數目也增多。當單位時間內進入空間的分子數目與返回液體中的分子數目相等時，則蒸發(fā)與凝結處于動平衡狀態(tài)，這時雖然蒸發(fā)和凝結仍在進行，但空間中蒸汽分子的密度不再增大，此時的狀態(tài)稱為飽和狀態(tài)。

       在飽和狀態(tài)下的液體稱為飽和液體，其對應的蒸汽是飽和蒸汽，但最初只是濕飽和蒸汽，待蒸汽中的水分完全蒸發(fā)后才是干飽和蒸汽。蒸汽從不飽和到濕飽和再到干飽和的過程溫度是不增加的，干飽和之后繼續(xù)加熱則溫度會上升，成為了過熱蒸汽 。